ช่วงแผนพัฒนาเศรษฐกิจและสังคมแห่งชาติ ฉบับที่ 5 รัฐบาลมี นโยบายกระจายโอกาสทางการศึกษาระดับอุดมศึกษาไปสู่ภูมิภาคและ ชนบท ให้มากยิ่งขึ้น ดังนั้น ใน พ.ศ. 2523 ทบวงมหาวิทยาลัยจึง เสนอให้ รัฐบาลจัดตั้งมหาวิทยาลัยใหม่ในส่วนภูมิภาค 5 แห่ง
ต่อมารัฐบาล พลเอก ชาติชาย ชุณหะวัณ ในคราวประชุมคณะรัฐมนตรี เมื่อวันที่ 13 กันยายน 2531 มีมติให้แต่งตั้งคณะกรรมการจัดตั้ง “มหาวิทยาลัยสุรนารี ” ในพื้นที่จังหวัดนครราชสีมา โดยมี ศ. ดร. วิจิตร ศรีสอ้าน เป็นประธานคณะกรรมการฯ ได้จัดทำโครงการ จัดตั้งมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารีเสนอต่อรัฐบาล พร้อมทั้งเสนอร่าง พระราชบัญญัติจัดตั้ง มหาวิทยาลัย ต่อสภาผู้แทนราษฎรในสมัยประชุม พ.ศ. 2532
เมื่อวันที่ 27 กรกฎาคม 2533 พระบาทสมเด็จพระเจ้าอยู่หัวฯ ได้ทรงลงพระปรมาภิไธยในพระราชบัญญัติดังกล่าว และได้ประกาศในราชกิจจานุเบกษา มีผลบังคับใช้ตั้งแต่วันที่ 30 กรกฎาคม 2533 มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี จึงได้ถือเอาวันที่ 27 กรกฎาคม 2533 เป็นวันสถาปนามหาวิทยาลัย
ศูนย์เครื่องมือวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี (The Center for Scientific and Technological Equipment) ได้ถูกจัดตั้งขึ้น โดยการระบุในพระราชบัญญัติมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี ให้เป็นหน่วยงานในระยะเริ่มแรกของมหาวิทยาลัยที่มีฐานะเทียบเท่าสำนักวิชา ศูนย์ สถาบัน
ศูนย์เครื่องมือฯ ได้เริ่มดำเนินการนับตั้งแต่วันที่พนักงานรุ่นแรกจำนวน 4 คน ซึ่งเริ่มปฏิบัติงานในวันที่ 2 พฤศจิกายน 2535 ปฏิบัติงานที่อาคารแหลมทอง กรุงเทพฯ ซึ่งเป็นที่ทำการชั่วคราว แล้วย้ายมาเปิดดำเนินการ ณ ที่ตั้งปัจจุบัน ในวันที่ 13 พฤษภาคม พ.ศ. 2536 โดยมี รศ. วิรุฬห์ มังคละวิรัช เป็นผู้อำนวยการศูนย์เครื่องมือฯ ท่านแรก พร้อมกับที่บุคลากรรุ่นต่อ ๆ มา ได้เริ่มเข้าปฏิบัติงานในพื้นที่เพื่อร่วมพัฒนาห้องปฏิบัติการต่าง ๆ ที่จะรองรับการดำเนินการห้องปฏิบัติการตามหลักสูตรต่าง ๆ ของมหาวิทยาลัย เช่น โครงการปรับปรุงอาคารสถานที่ โครงการปรับปรุงและพัฒนาห้องปฏิบัติการ โครงการเงินกู้เพื่อการพัฒนาการศึกษาวิทยาศาสตร์และวิศวกรรมศาสตร์ การเตรียมความพร้อมห้องปฏิบัติการ การเตรียมพื้นที่เพื่อขยายห้องปฏิบัติการสำหรับสำนักวิชาต่างๆ การวางแผนอัตรากำลัง การปรับปรุงโครงสร้างสายงาน การจัดสรรที่พักพนักงาน ฯลฯ เพื่อสนับสนุนให้มหาวิทยาลัยสามารถเปิดรับนักศึกษารุ่นแรกได้โดยราบรื่นในที่สุด โดยในปีการศึกษา 2536 ได้เริ่มให้บริการห้องปฏิบัติการวิทยาศาสตร์พื้นฐาน และเปิดให้บริการห้องปฏิบัติการวิศวกรรมศาสตร์ และ เทคโนโลยีการเกษตร และห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ ในปีถัดมา โดยในระยะเริ่มต้นนี้ ศูนย์เครื่องมือมีอาคารปฏิบัติการคือ อาคารเครื่องมือ 1-6