ช่วงแผนพัฒนาเศรษฐกิจและสังคมแห่งชาติ ฉบับที่ 5 รัฐบาลมี นโยบายกระจายโอกาสทางการศึกษาระดับอุดมศึกษาไปสู่ภูมิภาคและ ชนบท ให้มากยิ่งขึ้น ดังนั้น ใน พ.ศ. 2523 ทบวงมหาวิทยาลัยจึง เสนอให้ รัฐบาลจัดตั้งมหาวิทยาลัยใหม่ในส่วนภูมิภาค 5 แห่ง

ต่อมารัฐบาล พลเอก ชาติชาย ชุณหะวัณ ในคราวประชุมคณะรัฐมนตรี เมื่อวันที่ 13 กันยายน 2531 มีมติให้แต่งตั้งคณะกรรมการจัดตั้ง “มหาวิทยาลัยสุรนารี ” ในพื้นที่จังหวัดนครราชสีมา โดยมี ศ. ดร. วิจิตร ศรีสอ้าน เป็นประธานคณะกรรมการฯ ได้จัดทำโครงการ จัดตั้งมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารีเสนอต่อรัฐบาล พร้อมทั้งเสนอร่าง พระราชบัญญัติจัดตั้ง มหาวิทยาลัย ต่อสภาผู้แทนราษฎรในสมัยประชุม พ.ศ. 2532

เมื่อวันที่ 27 กรกฎาคม 2533 พระบาทสมเด็จพระเจ้าอยู่หัวฯ ได้ทรงลงพระปรมาภิไธยในพระราชบัญญัติดังกล่าว และได้ประกาศในราชกิจจานุเบกษา มีผลบังคับใช้ตั้งแต่วันที่ 30 กรกฎาคม 2533 มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี จึงได้ถือเอาวันที่ 27 กรกฎาคม 2533 เป็นวันสถาปนามหาวิทยาลัย

ศูนย์เครื่องมือวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี (The Center for Scientific and Technological Equipment) ได้ถูกจัดตั้งขึ้น โดยการระบุในพระราชบัญญัติมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี ให้เป็นหน่วยงานในระยะเริ่มแรกของมหาวิทยาลัยที่มีฐานะเทียบเท่าสำนักวิชา ศูนย์ สถาบัน

มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี ได้กำหนดนโยบายให้ศูนย์เครื่องมือวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี มีการดำเนินการภายใต้หลักการบริหารจัดการแบบ “รวมบริการ ประสานภารกิจ ” (Centralized Service, Shared Mission) เพื่อเป็นหน่วยงานสนับสนุนวิชาการอันเกี่ยวข้องกับการจัดบริการห้องปฏิบัติการ เพื่อรองรับด้านการสอนภาคปฏิบัติการ สนับสนุนการวิจัยและพัฒนาของคณาจารย์ และบริการวิชาชีพให้แก่หน่วยงานภายในและภายนอกมหาวิทยาลัยทั้งภาครัฐและ เอกชน รวมทั้ง ปฏิบัติภารกิจอื่นๆ ที่ได้รับมอบหมายจากมหาวิทยาลัย

ศูนย์เครื่องมือฯ ได้เริ่มดำเนินการนับตั้งแต่วันที่พนักงานรุ่นแรกจำนวน 4 คน ซึ่งเริ่มปฏิบัติงานในวันที่ 2 พฤศจิกายน 2535 ปฏิบัติงานที่อาคารแหลมทอง กรุงเทพฯ ซึ่งเป็นที่ทำการชั่วคราว แล้วย้ายมาเปิดดำเนินการ ณ ที่ตั้งปัจจุบัน ในวันที่ 13 พฤษภาคม พ.ศ. 2536 โดยมี รศ. วิรุฬห์ มังคละวิรัช เป็นผู้อำนวยการศูนย์เครื่องมือฯ ท่านแรก พร้อมกับที่บุคลากรรุ่นต่อ ๆ มา ได้เริ่มเข้าปฏิบัติงานในพื้นที่เพื่อร่วมพัฒนาห้องปฏิบัติการต่าง ๆ ที่จะรองรับการดำเนินการห้องปฏิบัติการตามหลักสูตรต่าง ๆ ของมหาวิทยาลัย เช่น โครงการปรับปรุงอาคารสถานที่ โครงการปรับปรุงและพัฒนาห้องปฏิบัติการ โครงการเงินกู้เพื่อการพัฒนาการศึกษาวิทยาศาสตร์และวิศวกรรมศาสตร์ การเตรียมความพร้อมห้องปฏิบัติการ การเตรียมพื้นที่เพื่อขยายห้องปฏิบัติการสำหรับสำนักวิชาต่างๆ การวางแผนอัตรากำลัง การปรับปรุงโครงสร้างสายงาน การจัดสรรที่พักพนักงาน ฯลฯ เพื่อสนับสนุนให้มหาวิทยาลัยสามารถเปิดรับนักศึกษารุ่นแรกได้โดยราบรื่นในที่สุด โดยในปีการศึกษา 2536 ได้เริ่มให้บริการห้องปฏิบัติการวิทยาศาสตร์พื้นฐาน และเปิดให้บริการห้องปฏิบัติการวิศวกรรมศาสตร์ และ เทคโนโลยีการเกษตร และห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ ในปีถัดมา โดยในระยะเริ่มต้นนี้ ศูนย์เครื่องมือมีอาคารปฏิบัติการคือ อาคารเครื่องมือ 1-6

• พ.ศ. 2542 ศูนย์เครื่องมือฯ ได้ขยายขอบข่ายการให้บริการวิชาชีพ และจัดตั้งห้องปฏิบัติการเพิ่มขึ้นเพื่อรองรับการขยายตัวของการเรียนการสอนด้านวิศวกรรมศาสตร์ และสาธารณสุขศาสตร์
• พ.ศ. 2543 ศูนย์เครื่องมือฯ ได้รับงบประมาณจากโครงการเงินกู้ธนาคารโลก (World Bank) เพื่อจัดหาครุภัณฑ์วิทยาศาสตร์และวิศวกรรมศาสตร์สำหรับการเรียนการสอนเพิ่มเติม
• พ.ศ. 2546 ศูนย์เครื่องมือฯ เริ่มโครงการระบบคุณภาพห้องปฏิบัติการ มีการขยายพื้นที่เพิ่ม คืออาคารเครื่องมือ 7 และ อาคารเครื่องมือ 8 รวมทั้งได้รับงบประมาณสำหรับก่อสร้างอาคารอาคารเฉลิมพระเกียรติ (อาคารเครื่องมือ 9)
• พ.ศ. 2549 อาคารเฉลิมพระเกียรติ 72 พรรษา (อาคารเครื่องมือ 9) เริ่มเปิดดำเนินการ ได้รับครุภัณฑ์เพิ่มเติมเพื่อรองรับการเรียนการสอนหลักสูตรแพทย์ศาสตร์ชั้นปรีคลีนิค รวมทั้งได้รับการอนุมัติงบประมาณสำหรับก่อสร้างอาคารเครื่องมือปฏิบัติการวิทยาศาสตร์ เทคโนโลยีการเกษตร และ วิศวกรรมศาสตร์พื้นฐาน (อาคารเครื่องมือ 10)
• พ.ศ. 2551 ศูนย์เครื่องมือฯ ได้รับการรับรองความสามารถห้องปฏิบัติการตามมาตรฐานระบบคุณภาพ ISO 17025 เป็นครั้งแรกในขอบข่ายของการวิเคราะห์น้ำ
• พ.ศ. 2554 ศูนย์เครื่องมือฯ ได้รับการสนับสนุนงบประมาณจากโครงการเงินกู้เพื่อพัฒนาโครงสร้างพื้นฐาน (DPL) สำหรับการจัดหาครุภัณฑ์ทางการแพทย์และสาธารณสุข รวมทั้งครุภัณฑ์เครื่องมือวิเคราะห์ชั้นสูง และ โดยการริเริ่มของอธิการบดี ศ. ดร. ประสาท  สืบค้า ได้มีการปรับปรุงพื้นที่และต่อเติมห้องปฏิบัติการในอาคารเครื่องมือ 1, 6 และ 10 เพื่อรองรับโครงการดังกล่าว
• พ.ศ. 2556 สมเด็จพระเทพรัตนราชสุดา สยามบรมราชกุมารี เสด็จพระราชดำเนินทรงเป็นประธานในพิธีวางศิลาฤกษ์อาคารปฏิบัติการพื้นฐานด้านวิศวกรรมศาสตร์ (อาคารเครื่องมือ 11)

ปัจจุบัน ศูนย์เครื่องมือวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี มีพนักงาน 145 คน ปฏิบัติหน้าที่ ดูแลรักษาและให้บริการเครื่องมือกว่า 19,000 รายการ ห้องปฏิบัติการกว่า 300 ห้อง ในอาคารปฏิบัติการ 10 อาคาร รวมพื้นที่ใช้สอยมากกว่า 100,000 ตารางเมตร สามารถรองรับภารกิจการเรียน การสอน การวิจัย ให้แก่ นักศึกษา คณาจารย์ นักวิจัย สำนักวิชาวิทยาศาสตร์ วิศวกรรมศาสตร์ เทคโนโลยีการเกษตร เทคโนโลยีสังคม แพทย์ศาสตร์ พยาบาลศาสตร์ และ ผู้รับบริการภายนอกได้มากกว่า 19,000 รายต่อปี